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日本雅马拓等离子灰化机 PR500/510

简要描述:·PR500/510等离子灰化机
高频输出 50~500W,反应腔 Φ215×305mm
低温等离子·经典桶型。
PR500:手动控制 PR510:自动触摸屏控制
低温等离子的经典款非常具有历史性。采用自动协调功能及触摸屏操作(PR510),提高了操作性及安全性,是一款小型紧凑型的等离子处理设备。

  • 产品型号:PR500/510
  • 厂商性质:代理商
  • 更新时间:2020-04-28
  • 访  问  量:802

详细介绍

品牌YAMATO/日本雅马拓产地类别进口
应用领域医疗卫生,食品,化工,建材,制药

·日本雅马拓PR500/510等离子灰化机

高频输出 50~500W,反应腔 Φ215×305mm 

低温等离子·经典桶型。 

PR500:手动控制 PR510:自动触摸屏控制

低温等离子的经典款非常具有历史性。采用自动协调功能及触摸屏操作(PR510),提高了操作性及安全性,是一款小型紧凑型的等离子处理设备。

日本雅马拓PR500/510等离子灰化机用途 

·去除光刻胶

·部品清洗

·界面活性处理

·微研磨

·硅晶圆,玻璃基板对应 

日本雅马拓PR500/510等离子灰化机特征 

·大口径(Φ215mm)石英反应腔

·小型一体化设计

·操作简单的触摸屏方式(PR510型) 
 

日本雅马拓PR500/510等离子灰化机​规格 

型号

PR500

PR510

模式

DP模式,桶型

控制部

高频输出功率

Max500W

频率

13.56MHz

同调方式

自动协调

反应部

反应腔

石英 Φ215×305mm

反应气体

2系统(O2/CF4)

控制

手动

触摸屏自动控制

配管材质

不锈钢、特氟龙

外形尺寸

W438×D520×H760mm

参照规格书

重量

约60kg

参照规格书

电源

单相AC100V 9A

三相AC200V 8A

 

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