当前位置:首页 > 产品中心 > YAMATO雅马拓系列 > 等离子装置 > PR500/510日本雅马拓等离子灰化机 PR500/510
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详细介绍
品牌 | YAMATO/日本雅马拓 | 产地类别 | 进口 |
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应用领域 | 医疗卫生,食品,化工,建材,制药 |
·日本雅马拓PR500/510等离子灰化机
高频输出 50~500W,反应腔 Φ215×305mm
低温等离子·经典桶型。
PR500:手动控制 PR510:自动触摸屏控制
低温等离子的经典款非常具有历史性。采用自动协调功能及触摸屏操作(PR510),提高了操作性及安全性,是一款小型紧凑型的等离子处理设备。
日本雅马拓PR500/510等离子灰化机用途
·去除光刻胶
·部品清洗
·界面活性处理
·微研磨
·硅晶圆,玻璃基板对应
日本雅马拓PR500/510等离子灰化机特征
·大口径(Φ215mm)石英反应腔
·小型一体化设计
·操作简单的触摸屏方式(PR510型)
日本雅马拓PR500/510等离子灰化机规格
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