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详细介绍
品牌 | YAMATO/日本雅马拓 | 产地类别 | 进口 |
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应用领域 | 医疗卫生,食品,化工,制药 |
日本雅马拓等离子清洗机 V1000/1000X/1000XS
13.56MHz高频输出的等离子清洗机,搭载RIE·DP双模式
使用等离子的表面处理装置。着重于“使用简单”的台式 高性能型号,调取数据简单,以电子材料为中心,可对应 多种用途。
特征
● 可变更电极构造提高等离子效果。
● 搭载高精度适配器,高性能RF 电源。
● 可根据需求规格提供定制。
用途
● 硅晶圆的灰化及蚀刻
● 基板表面污垢处理
● IC/LED封装、BGA/CSP基板处理
● 半导体相关部品的电子材料的干式清洗
● 自然氧化膜·有机物去除
● 界面活性处理
● 表面污染物去除
日本雅马拓等离子清洗机 V1000/1000X/1000XS 内槽
日本雅马拓等离子清洗机 V1000/1000X/1000XS 规格
管路连接图
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