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日本雅马拓等离子清洗机V1000/1000X/1000XS

简要描述:日本雅马拓等离子清洗机 V1000/1000X/1000XS
13.56MHz高频输出的等离子清洗机,搭载RIE·DP双模式
使用等离子的表面处理装置。着重于“使用简单"的台式 高性能型号,调取数据简单,以电子材料为中心,可对应 多种用途。
特征

  • 产品型号:V1000/1000X/1000XS
  • 厂商性质:代理商
  • 更新时间:2020-04-28
  • 访  问  量:788

详细介绍

品牌YAMATO/日本雅马拓产地类别进口
应用领域医疗卫生,食品,化工,制药

日本雅马拓等离子清洗机 V1000/1000X/1000XS 

13.56MHz高频输出的等离子清洗机,搭载RIE·DP双模式
使用等离子的表面处理装置。着重于“使用简单”的台式 高性能型号,调取数据简单,以电子材料为中心,可对应 多种用途。
特征
●  可变更电极构造提高等离子效果。
●  搭载高精度适配器,高性能RF 电源。
●  可根据需求规格提供定制。

用途
●  硅晶圆的灰化及蚀刻
●  基板表面污垢处理
●  IC/LED封装、BGA/CSP基板处理
●  半导体相关部品的电子材料的干式清洗
●  自然氧化膜·有机物去除
●  界面活性处理
●  表面污染物去除

日本雅马拓等离子清洗机 V1000/1000X/1000XS 内槽

日本雅马拓等离子清洗机 V1000/1000X/1000XS 规格
 

型号V1000V1000XV1000XS
等离子模式DP/RIE
高频电源13.56MHz
输出功率Max1000WMax1000 & 1500W
有效电极尺寸W280×D280mmW300×D300mmW400×D375mm
电极平行平板2段电极(独立)平板(多目的)
反应气体聚合控制器2系统(填充气路另行安装)
真空泵(标配)约1000L/min约1500L/min1000 & 1500L/min
安全装置门检测开关、联锁机构、紧急停止开关、温度过升防止器等


管路连接图

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