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日本雅马拓等离子清洗机 YSP600U2KU

简要描述:日本雅马拓等离子清洗机 YSP600U2KU
样品传输系统为模块式,便于组合
● 提高各种材料的粘接性、表面改质处理
● 清洗各类基板。
● 电子部品、材料表面改质。
● 去除有机物和自然氧化膜。

  • 产品型号:YSP600U2KU
  • 厂商性质:代理商
  • 更新时间:2020-04-28
  • 访  问  量:863

详细介绍

品牌YAMATO/日本雅马拓产地类别进口
应用领域医疗卫生,食品,化工,制药

日本雅马拓等离子清洗机 YSP600U2KU

样品传输系统为模块式,便于组合
用途
●  提高各种材料的粘接性、表面改质处理
●  清洗各类基板。
●  电子部品、材料表面改质。
●  去除有机物和自然氧化膜。

特点
●  体积小,节省空间。
●  选用小型腔体,反应效率高。
●  更容易嵌入生产线使用。
●  可通过操作面板自由切换等离子模式。
●  配备冷却反应台。

日本雅马拓等离子清洗机 YSP600U2KU内槽
 

日本雅马拓等离子清洗机 YSP600U2KU技术规格

型号

YSP600U

YSP2KU

模式

RIE(DP模式选购)

高频输功率

600W

2000W

反应台尺寸

W300×D300mm

W600×D600mm

反应气体

2进气系统(氧气、氩气)

反应气体流量控制

质量流量控制器

气体导入口

反应气体2个、填充气体1个、空气1个

 

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