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日本雅马拓等离子清洗机 YSP63FA

简要描述：日本雅马拓等离子清洗机 YSP63FA 可进行样品传输系统定制
● 操作快捷方便：放入样品收纳盒、自动处理、取出收纳盒。
● 软性基板也可以进行传送操作。
● 传送速度可在Hi-Low间调节。
● 可通过网络进行远程操作（选购品）。

  • 产品型号：YSP63FA
  • 厂商性质：代理商
  • 更新时间：2020-04-28
  • 访  问  量：985
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详细介绍

品牌YAMATO/日本雅马拓产地类别进口
应用领域医疗卫生,食品,化工,电子,制药

日本雅马拓等离子清洗机 YSP63FA

可进行样品传输系统定制

●  操作快捷方便：放入样品收纳盒、自动处理、取出收纳盒。
●  软性基板也可以进行传送操作。
●  传送速度可在Hi-Low间调节。
●  可通过网络进行远程操作（选购品）。

日本雅马拓等离子清洗机 YSP63FA规格 

型号

YSP63FA

模式

RIE（DP模式选购）

高频输功率

600W

反应台尺寸

W385×D362mm

内腔尺寸

W395×D378×H45mm（内尺寸）

反应气体

2进气系统（氧气、氩气）

反应气体流量控制

质量流量控制器

真空泵

旋转式真空泵（约500L/min）

气体导入口

反应气体2个、填充气体1个、空气1个

外形尺寸

W1860×D1100×H1800mm


 

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